素材紹介
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アルミナ Al2O3
呼び名:KMA995
色調はクリーム色
ファインセラミックスといえばアルミナが代表格 機械特性では耐摩耗性、高強度、熱特性では高い耐熱性、電気特性は電気絶縁性に優れた素材です。
比較的安価であるのも特徴の一つです。
用途は耐摩耗部材、耐食部材、半導体製造装置部材、高温域部材など
呼び名:KMG995
色調は白色 *1
KMAとほぼ同レベルの純度でありながら色調が白いのが特色 KMAと特性値もほぼ同じです。
用途はKMA995と同等で白色希望用
ジルコニア ZrO2
呼び名:KMZr
色調は白色
アルミナと比較し高い機械特性 高強度、高靭性 強度だけを求めるのであればおすすめな素材です。
低熱伝導である為。遮熱効果があります。
用途は耐摩耗部材、工業用刃物mなど靭性用途
炭化ケイ素 SiC
呼び名:KNTSiC、KTSiC
色調は黒色
比較的高い熱伝導率があり、静電気除去レベルの半導体性の電気特性があります。
耐薬品性と高硬度であるのも特徴の一つ
用途は耐薬品用途部材、高温域部材、静電気除去部材
チッカ珪素 Si3N4
呼び名:KTSN
色調は灰色
耐熱衝撃性に優れた素材で高強度・高靭性であるもの特徴の一つです。
熱膨張しづらい素材でもあります。
用途は高温域部材、粉砕機部材、金属治具
窒化アルミ AlN
呼び名:KFAN170
色調は灰色
絶縁でありながら熱伝導を求めるならこの素材、放熱性に優れた素材です。
用途は均熱部材、高温域部材、半導体製造装置部材
ステアタイト MgO・SiO2
呼び名:KCSt
色は白色
高温化でも優れた絶縁性がある。機械加工性にも優れた素材です。
用途は回路部材など
ジルコンコーディライト
呼び名:KYCS
色調は灰色
高い耐熱性と低熱膨張、低熱伝導性に優れた素材です。
用途は耐熱、低熱膨張部材、半導体プローバー用ステージ
*1:長時間紫外線化で放置すると変色する可能性があります。
株式会社キムラテック 素材特性表
分類 | アルミナ | ジルコニア | SiC | Si3N4 | AlN | ステアタイト | ジルコンコーディライト | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
呼び名 | KMA995 | KMG995 | KMA96 | KMZr | KTSiC | KTSN | KFAN170 | KCSt | KYCS | ||
主成分 | % | 99.7 | 99.6 | 96 | 92 | ||||||
色調 | クリーム | 白 | 白 | 白 | 黒 | グレー | グレー | 白 | グレー | ||
笠密度 | g/cm3 | 3.9 | 3.9 | 3.7 | 6 | 3.1 | 3.2 | 3.3 | 2.8 | 2.7 | |
機械 | 曲げ強さ | Mpa | 400 | 390 | 320 | 1000 | 450 | 800 | 350 | 200 | 150 |
ヤング率 | Gpa | 390 | 380 | 300 | 210 | 400 | 300 | – | 120 | – | |
ビッカース硬度 | GPa | 14 | 14 | 13 | 13.2 | 24 | 16 | – | 5.6 | – | |
ポアソン比 | – | 0.24 | 0.24 | 0.23 | 0.31 | – | – | – | – | – | |
破壊靭性 | Mpam1/2 | 4.1 | 4 | 3.5 | 4 | 4.6 | 6 | – | – | – | |
熱 | 熱膨張係数 | *10-6 | 6.4 | 5.8 | 7.7 | 11 | 4 | 3 | 4.5 | 6.5 | 2~3 |
熱伝導率 | W/(m・K) | 30 | 28 | 21 | 3 | 80 | 17 | 170 | 3 | 3.2 | |
比熱 | J/(kg/K) | 0.78*103 | 0.78*103 | 0.78*103 | – | – | – | – | – | – | |
電気 | 誘電率 | [1MHz] | 10.1 | 6.4 | 9.5 | – | – | 8.5 | 8.8 | 6 | 6.5 |
誘電正接 | *10-4 | 50 | – | – | – | – | – | 5 | 18 | – | |
体積抵抗率 | Ω・㎝ | 1015 | 1015 | 1014 | 1012 | 103~104 | 1012 | 1013 | 1014 | 1013 | |
絶縁破壊電圧 | kV/mm | 12 | 16 | – | 11 | – | – | 15 | 13 | 10 | |
特徴 | 高強度 絶縁性大 耐摩耗性 耐薬品性 |
高強度 耐摩耗性 高破壊靭性 低熱伝導 |
導電性 高強度 耐薬品性 軽量 |
高強度 耐摩耗性 耐熱衝撃 軽量 |
高強度 絶縁性 高熱伝導 軽量 |
絶縁性大 | 低熱膨張 低熱伝導 軽量 |
||||
用途 | 耐摩耗部材 耐食部品 半導体装置部品 |
耐摩耗部品 工業用刃物 |
メカニカルシール 摺動部品 高温用部品 |
粉砕機 金属溶湯、弾性加工部品 |
均熱部品 高温処理治具 半導体装置部品 |
回路部品 | 耐熱部品 低熱膨張部品 ハロゲンランプ部品 |
上記数値は参考値で保証値ではありません。形状によっても数値の変動する可能性があります。